Модернизация микроинтерферометров МИИ-4 и МИИ-4М

240,00 руб.
В корзину

Описание

   Создание экономически эффективного высокоразрешающего профилометра для технологий микрообработки поверхностей и формирования тонкопленочных покрытий является важной задачей метрологического обеспечения малых научно-производственных компаний, научных лабораторий, университетов и средних специальных учебных заведений. В статье обсуждаются результаты модернизации микроинтерферометров МИИ-4 и МИИ-4М, позволяющие получать профилограммы и геометрические характеристики микрорельефа путем компьютерной обработки интерферограмм.

Ключевые слова: профилометр; интерферометр; измерения глубины микрорельефа; нанодиапазон

Авторы:

Виктор Павлович Корольков
ИАиЭ СО РАН, г. Новосибирск

Антон Евгеньевич Качкин, Руслан Владимирович Шиманский
ЗАО «Дифракция», г. Новосибирск

Мир измерений № 10/2012