Заказать мероприятие
Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Для приобретения подписки для абонементного доступа к статьям, вам необходимо зарегистрироваться
После регистрации вы получите доступ к личному кабинету
Зарегистрироваться Войти
Создание экономически эффективного высокоразрешающего профилометра для технологий микрообработки поверхностей и формирования тонкопленочных покрытий является важной задачей метрологического обеспечения малых научно-производственных компаний, научных лабораторий, университетов и средних специальных учебных заведений. В статье обсуждаются результаты модернизации микроинтерферометров МИИ-4 и МИИ-4М, позволяющие получать профилограммы и геометрические характеристики микрорельефа путем компьютерной обработки интерферограмм.
Ключевые слова: профилометр; интерферометр; измерения глубины микрорельефа; нанодиапазон
Авторы:
Виктор Павлович Корольков
ИАиЭ СО РАН, г. Новосибирск
Антон Евгеньевич Качкин, Руслан Владимирович Шиманский
ЗАО «Дифракция», г. Новосибирск
Подписка
Всероссийская организация качества
