Заказать мероприятие
Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Для приобретения подписки для абонементного доступа к статьям, вам необходимо зарегистрироваться
После регистрации вы получите доступ к личному кабинету
Зарегистрироваться Войти
После ухода западных производителей с российского рынка их нишу заняли новые для отечественного потребителя бренды из стран Азии. Одним из них стала китайская компания Boardstone Intelligent Co., Ltd. – высокотехнологичное предприятие, штаб-квартира которого расположена в Шэньчжэне.
Boardstone занимается разработкой и производством решений для высокоточных измерений в таких сферах, как микроэлектроника, полупроводниковая отрасль, прецизионная механика и оптические системы, точное приборостроение и др. Годовой оборот компании уже достиг 200 млн юаней и продолжает расти, что обеспечивает ее уверенное присутствие на рынках Китая, Тайваня, Южной Кореи и других стран Юго-Восточной Азии.
Под брендом Atometrics, принадлежащим Boardstone, выпускаются сложные приборы, которые применяются для трехмерного оптического контроля. В России продукцию бренда Atometrics представляет компания ЗАО НПФ «Уран», которая поставляет на отечественный рынок передовые сканирующие интерферометры белого света (рис. 1).
Рис. 1. Устройство интерферометра белого света
Интерферометры белого света Atometrics предназначены для бесконтактного анализа поверхности с субнанометровой точностью (до 0,002 нм) с максимальной детализацией. Их работа базируется на использовании 3D-лазеров и спектральных конфокальных технологий.
Приборы могут выполнять задачи по бесконтактному измерению шероховатости, дефектов, контролю плоскостности, измерению высоты ступенек и толщины пленок. Их применение востребовано в таких отраслях, как микрооптика, микроэлектроника и прецизионная механика, где контроль качества и рельефа поверхности имеет критическое значение. Ставка компании на технологичность и инновационный подход позволяет разрабатывать и производить оборудование, которое отвечает строгим требованиям научных и промышленных лабораторий по всему миру.
Продукция Atometrics продвигает новые стандарты качества, точности и долговечности в области измерительных приборов, предоставляя возможности для выполнения самых сложных измерительных задач, которые необходимы современным высокоточным производствам.
Принцип действия интерферометров Atometrics основан на явлении интерференции белого света, что обеспечивает точные измерения микрорельефа поверхностей. Для создания интерференционной картины в приборе используются два когерентных источника света, которые обладают одинаковой частотой и постоянной разностью фаз, а также совпадающим направлением поляризации. Эти два источника, накладываясь друг на друга, создают интерференционные полосы, которые позволяют фиксировать и измерять мельчайшие различия высоты исследуемой поверхности.
 Рис. 2. Принцип работы датчика белого света |
Интерферометр извлекает информацию о высоте (h) между исследуемой целью и опорной поверхностью, регистрируя сдвиги фаз в интерференционных полосах, которые соответствуют волнам света определенной длины. Разница фаз, зафиксированная в интерференционных полосах между точками, к примеру A и B, отражает разницу высот между этими точками, что позволяет получить точные данные о топографии объекта (рис. 2).
Прибор сканирует поверхность по слоям, перемещая линзу по вертикальной оси и фиксируя изменения яркости интерференционных полос. В результате таких измерений создается трехмерная топографическая карта поверхности, в которой учитываются мельчайшие перепады высоты. Таким образом, интерферометр Atometrics может с высокой точностью отображать морфологию сложных микроструктур. Этот подход позволяет не только получить данные о высотных перепадах с субнанометровым разрешением, но и провести их пространственный анализ.
Благодаря прецизионному пьезо-керамическому датчику интерферометры Atometrics достигают исключительной точности при измерении высот. Использование источника белого света, излучающего непрерывный спектр около центральных полос 520 и 465 нм, обеспечивает дополнительное технологическое преимущество, которое позволяет достигать субнанометрового уровня измерений, что важно при работе с мелкоструктурными поверхностями.
Рис. 3. Примеры функционала программного обеспечения в приборах Atometrics
Высококачественные интерференционные объективы от компании Nikon позволяют формировать предельно четкую и детализированную интерференционную картину для точной передачи информации о рельефе исследуемых поверхностей. Повышенная по сравнению с аналогами разрешающая способность КМОП-матриц (до 5 млн пикселей) усиливает способность к детализации результатов и позволяет ощутимо минимизировать погрешности.
Atometrics также превосходит конкурентов по диапазону сканирования: разнообразие датчиков прибора позволяет использовать его для измерения деталей с элементами, имеющими высоту до 5 мм, сохраняя при этом оптимальную точность контроля. Такой расширенный диапазон позволяет охватывать широкий спектр задач, недоступных для аналогичных устройств других производителей.
Совокупность всех этих характеристик позволяет интерферометрам Atometrics выделяться в своем сегменте, предоставляя пользователям исключительные возможности для достижения высококачественных результатов.
Преимущества использования приборов:
Наряду с этим приборы могут оснащаться поворотной турелью для точной и быстрой смены объективов в диапазоне увеличения от 2,5‑кратного до 115‑кратного, а также обладают возможностью увеличения диапазона сканирования до 300 × 300 мм за счет сшивки изображений при помощи уникального программного алгоритма. Эти показатели обеспечивают превосходство приборов Atometrics перед такими мировыми лидерами, как Zygo и Bruker.
|
|
 Рис. 5. Измерение вогнутой поверхности
|
 Рис. 6. Измерение параметров группы линз
|
Программное обеспечение Mountains®, разработанное компанией Digital Surf, представляет собой передовое решение для анализа и визуализации топографии поверхности, которое давно признано отраслевым стандартом в этой области. Этот программный продукт используется во множестве исследовательских институтов, промышленных лабораторий и компаний по всему миру благодаря своей функциональности и соответствию международным стандартам. Mountains® обладает широким спектром возможностей, которые делают его незаменимым инструментом для детального анализа структуры поверхностей и ее параметров.
Среди основных функций программы можно выделить следующие.
Визуализация и исследование параметров профиля и поверхности позволяет проводить подробный анализ микроструктуры и выявлять мельчайшие особенности и дефекты поверхности, влияющие на ее функциональные свойства.
Анализ шероховатости и волнистости в соответствии с ISO 16610 гарантирует точное соответствие требованиям международных стандартов. Этот метод позволяет получить информацию о структуре поверхности материалов с разным качеством обработки.
Вычисление параметров профиля по стандартам ISO для дальнейшего контроля и интерпретации данных обеспечивает интеграцию результатов в производственные и исследовательские процессы.
Использование передовых методов обработки данных, таких как анализ Фурье, анализ частиц, фрактальный анализ, позволяет исследовать как регулярные, так и случайные структуры поверхности, предоставляя пользователям подробную характеристику микрорельефа.
Анализ поверхностей свободной формы (оболочки) особенно полезен при работе с нестандартными поверхностями, сложными формами и нетипичными объектами, требующими индивидуального подхода.
MountainsMap® заслуженно считается «золотым стандартом» в области анализа 2D- и 3D-текстуры поверхности и в метрологии в целом. Эта платформа не только позволяет достичь надежных и точных результатов, но и обеспечивает гибкость в работе с данными, а ее интуитивно понятный интерфейс делает работу максимально удобной для специалистов всех уровней. Программное обеспечение имеет функциональные модули и инструменты, ориентированные на потребности инженеров, ученых и метрологов, работающих в различных областях науки и техники, от нанотехнологий до макроскопического анализа материалов.
Рис. 7. Контроль фотоприемной пластины
Интерферометры белого света Atometrics находят применение в ряде отраслей, где необходимы сверхточные измерения поверхности. В оптическом производстве, особенно при изготовлении компонентов для рентгеновских зеркал и систем синхротронного излучения, требуется высокая точность контроля поверхности, в точном приборостроении для контроля корпусов гироскопа и т.д.
Благодаря вертикальной точности (вертикальная ось Z) измерений на уровне субнанометров интерферометры Atometrics могут играть ключевую роль в оценке качества оптических элементов при решении следующих задач:
Предельное значение 2,70 μm
Интерферометры белого света Atometrics открывают новые возможности для высокоточных измерений в ключевых отраслях российского производства. Высокая точность, широкие возможности адаптации и продвинутое программное обеспечение MountainsMap® делают эти приборы незаменимыми для российских предприятий, стремящихся повысить качество выпускаемой продукции, эффективность производства и перейти на новый технологический уровень.
Boardstone Intelligent, благодаря своим инвестициям в инновации и международной команде экспертов, предлагает надежные решения, способные удовлетворить самые строгие требования научных и производственных задач.
448
Подписка
Всероссийская организация качества
