Архив номеров

Модернизация микроинтерферометров МИИ-4 и МИИ-4М

Создание экономически эффективного высокоразрешающего профилометра для технологий микрообработки поверхностей и формирования тонкопленочных покрытий является важной задачей метрологического обеспечения малых научно-производственных компаний, научных лабораторий, университетов и средних специальных учебных заведений. В статье обсуждаются результаты модернизации микроинтерферометров МИИ-4 и МИИ-4М, позволяющие получать профилограммы и геометрические характеристики микрорельефа путем компьютерной обработки интерферограмм.

«Мир измерений» Октябрь 2012

Рубрика: Теория. Исследования. Практика
Автор(ы): В.П. Корольков, А.Е. Качкин, Р.В. Шиманский

Полная версия статьи доступна подписчикам электронного журнала.

01.10.2012

448
Поделиться:

Подписка

Материалы по данной теме можно СКАЧАТЬ в Электронной Библиотеке >>>



Доступна мобильная версия журнала "Мир измерений"

Журнал Мир измерений в App Store Журнал Мир измерений на Google play