Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Отправляя данные, я подтверждаю, что ознакомилась/ознакомился с Политикой в отношении обработки персональных данных, принимаю её условия и предоставляю ООО «РИА «Стандарты и качество» Согласие на обработку персональных данных.
Для приобретения подписки для абонементного доступа к статьям, вам необходимо зарегистрироваться
После регистрации вы получите доступ к личному кабинету
Зарегистрироваться Войти
Изложен принцип действия MEMS вибропреобразователя. Предложена электрическая схема замещения механического резонанса сенсора и получены формулы для расчета ее элементов. Для линеаризации частотной характеристики преобразователя разработаны активный режекторный RC-фильтр второго порядка и пассивный RLC фильтр. В среде MicroCap 10 получены частотные характеристики чувствительности как исходного датчика, так и с использованием частотной коррекции, которые показали увеличение максимальной рабочей частоты вибропреобразователя в четыре раза при неравномерности АЧХ не более 5%. Окончание. Начало в № 4, 2021
Ключевые слова: MEMS, вибропреобразователи, электрическая схема замещения, линеаризация частотной характеристики, частотная коррекция, полосовые режекторные фильтры 2-го порядка, схемотехническое моделирование, максимизация рабочей частоты.
Автор:
К.В. Филатов, доктор технических наук, профессор, действительный член Академии инженерных наук им. А.М. Прохорова, заместитель директора по инновациям и науке ООО «Виброприбор», г. Таганрог.
Мир измерений № 1-2022